株式会社BBIN视讯-娱乐游戏官网（社长：Toshikazu Umatate ，，，，，，东京都港区）推出了支持种种高清晰度的面板的生产 ，，，，，，对应第8代玻璃基板的FPD曝光装备「FX-88S」。。。。 。。 「FX-88S」除了有高区分率和高精度瞄准外 ，，，，，，还具有高生产性。。。。 。。普遍适用于高附加值的高端显示器的面板生产 ，，，，，，如智能装备、高端显示器和大型电视 ，，，，，，以知足客户的差别需求。。。。 。。
发售概况
| 商品名 | FPD曝光装备 「FX-88S」 |
| 发售时间 | 2022年4月上旬 |
开发配景
随着可折叠智能手机泛起和高清显示器的需求增添 ，，，，，，用于智能装备和高端显示器的中小型面板对更大屏幕和更高区分率的需求变得愈增强烈。。。。 。。别的 ，，，，，，用于电视显示屏等的大屏的区分率也有更高的需求。。。。 。。为了知足这些需求 ，，，，，，BBIN视讯-娱乐游戏官网应用并优化了适合生产高清中小型面板的FX-68SH/68S FPD曝光系统（2016年推出）和适合生产大型电视面板FX-103SH/103S FPD曝光系统（2017年推出）开发的手艺。。。。 。。推出知足多种高清晰度面板生产的FPD曝光装备 「FX-88S」。。。。 。。
主要专长
1. 实现了1.5微米级的高区分率
通过搭载在 FX-68SH/68S 机型上已实现量产实绩的高解像度i 线投影镜头。。。。 。。实现了第8代玻璃基板的1.5 ?m（L/S）高区分率曝光。。。。 。。同时接纳与“FX-68SH/68S”相同的高精度对焦补正系统 ，，，，，，实现了在整个第8 代玻璃基板面板上优异的线宽均一性。。。。 。。
※L/S：Line and Space的简称
2. 高重合精度的实现
通过使用在FX-103SH/103S中用于10.5代玻璃基板的大型平台控制手艺和FX-68SH/68S的高区分率投影镜头的设置 ，，，，，，FX-88S实现了高精度的对位。。。。 。。别的 ，，，，，，BBIN视讯-娱乐游戏官网奇异的多镜头手艺能对基板的外貌举行局部补正 ，，，，，，使其能够对应大型面板的种种变形形状 ，，，，，，助力于实现高良率的量产。。。。 。。
3. 高生产性
多镜头系统能够以高区分率对大面积区域举行批量曝光。。。。 。。仅通过4 次扫描 ，，，，，，就可以对第 8 代玻璃基板举行整个面举行曝光。。。。 。。与原有的FX-86SH2机型相比 ，，，，，，平台的驱动速率提高了 30% ，，，，，，生产节奏时间大幅度提升。。。。 。。 最大可以选择搭载四个光源 ，，，，，，助力于在需要高照度的曝光工序中也实现高生产性。。。。 。。
4. 可无邪地应对种种面板的量产
高区分率和高准确度的大面积曝光 ，，，，，，是智能装备、高端显示器和大型电视等高附加值高端屏幕量产的最佳选。。。。 。。FX-88S致力于知足客户的种种需求。。。。 。。
主要性能
| Resolution (L/S) | 区分率（可切换） | 1.5 μm�。。。。 。。╥-line） |
| Projection magnification | 投影倍率 | 1:1 |
| Overlay | 重合精度 | ≦±0.40 μm |
| Plate size | 尺寸 | 2,200 mmｘ2,500 mm |
| Takt time | 节奏 | 47秒/plate
条件：2,200 mmｘ2,500 mm ，，，，，，4 scans、i-line、30 mJ/cm2 |
